




高純氣體輸送及儲運也是影響電子氣體質(zhì)量的關(guān)鍵因素。超高純氣體的生產(chǎn)和應(yīng)用要求使用高質(zhì)量的氣體包裝儲運容器、相應(yīng)的氣體輸送管線、閥門和接口,電子特種氣體,要求相應(yīng)器件耐高壓、耐高真空,安徽特種氣體,對于腐蝕性氣體要求耐腐蝕,以避免二次污染的發(fā)生。隨著氣體純度的提高、產(chǎn)品種類的增多,對包裝容器的要求也越來越高,特種氣體廠,對于氣瓶內(nèi)壁處理技術(shù)以及氣密性好無污染的閥門、減壓器、過濾器等的研制提出了較高要求。

氣瓶柜 gas cabinet (GC)
特種氣體使用的封閉式氣瓶放置與管理設(shè)備,一般應(yīng)配置減壓裝置、真空發(fā)生器、、緊急切斷閥、過流開關(guān)、風壓事故報警、、壓力監(jiān)測及報警等安全使用所必須的設(shè)施。排風管配置泄漏探頭。氣瓶柜有手動、半自動、全自動三類。
氣瓶架 gas rack (GR)
特種氣體使用的開放式氣瓶放置與管理設(shè)備,特種氣體供應(yīng),一般應(yīng)配置減壓裝置、吹掃裝置、氣體終端過濾器、緊急切斷閥、壓力監(jiān)測及報警等安全設(shè)施。氣瓶架有手動、半自動、全自動三類。

特種氣體的包裝及貯運
包裝標志:有毒氣體。常溫下,干氯不腐 蝕鋼{但在水和濕氣存在時,由于生成鹽酸和次氯酸。所以呈強腐蝕性應(yīng)保持設(shè)備中無 水,管路、閥門和容器不用時應(yīng)密封或加帽,從而與大氣中的濕氣隔離。鋼瓶應(yīng)貯存在室外并遠離可燃材料。使 用 鋼瓶應(yīng)豎放在露天或強制通風室內(nèi)。防止鋼瓶過熱。鋼瓶溫度不能超過45℃。溫度低于121℃時,干氯1氣體或液1氯不腐蝕鐵、銅、 鋼、鋁、鎳、鉑、銀和鉭。含水的氯1氣對大部分金屬有腐蝕性。所以應(yīng)廣泛采用耐鹽酸的鎳基合金一C和榮乃爾。低壓下,含水氯1氣可采用粗陶瓷、玻璃和瓷設(shè)備進行貯存。在較高壓力下,可利用普通金屬容器內(nèi)襯耐腐蝕材料。

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